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Product Category UltraShape - 晶圓關(guān)鍵尺寸測量系統(tǒng)
UltraShape - 晶圓關(guān)鍵尺寸測量系統(tǒng)
                 UltraINSP - 晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)
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                 MESA系列 磁性測量系統(tǒng)
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                 WLA-5000 - 磁傳感器晶圓水平儀
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                 WLA-3000 晶圓水平儀
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                 LAS系列組裝和檢查紅外系統(tǒng)  定心儀(偏心儀)
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                 UltraINSP 晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)
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                 UltraFilm薄膜測量系統(tǒng)
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                 FR-Ultra NIR N3 晶圓厚度測量系統(tǒng)
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                 QuickOCT-4D--膜厚輪廓儀
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                 QuickPRO-RPS--旋轉(zhuǎn)剖面儀
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                 QuickPRO-3D--表面輪廓儀
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                 QuickOCT-4D —膜厚輪廓儀
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                 iFocus晶圓檢測系統(tǒng)
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                 EVG720自動(dòng)化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統(tǒng)
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                 FR-Mic:全自動(dòng)帶顯微鏡多點(diǎn)測量膜厚儀
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                 FR-InLine-在線薄膜厚度測量儀
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                 FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150-自動(dòng)化高速薄膜厚度測量儀
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